特許
J-GLOBAL ID：200903000076919980
スライシングマシンのウエハ回収方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-021220
公開番号（公開出願番号）：特開平5-212719
出願日： 1992年02月06日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】切断したウエハをブレードから容易に引き離し、バキュームチャックに確実に吸着保持できるスライシングマシンのウエハ回収方法を提案する。【構成】切断したウエハ50をブレード16から引き離す時、バキュームチャック24を旋回させながら下降するようにした。これにより、ウエハ50とブレード16との接触面に発生する吸着現象に逆らわずに、ウエハ50をブレード16から容易に引き離し、バキュームチャック24に吸着保持することができるので、バキュームチャック24から飛び出してウエハ50を損傷したり、割れたりすることがなくなり、ウエハ50の回収率を向上できる。
請求項（抜粋）：
回転する内周刃に半導体インゴットを押し当てて薄片状に切断された半導体ウエハを回収皿に吸着保持して、ウエハ回収用の所定位置に搬送するスライシングマシンのウエハ回収方法に於いて、ウエハを吸着保持した前記回収皿を旋回させながら下降せしめて、前記ウエハをブレードから引き離すことを特徴とするスライシングマシンのウエハ回収方法。
IPC (3件)：
B28D 1/22
, B23Q 7/04
, B24B 27/06
