導電性反射防止膜

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223684
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062602
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】薄膜で導電性と可視光線透過率が高く、かつ可視光反射率も低く、しかも耐湿性が強く、経時安定性に優れた導電性反射防止膜を提供することを目的とする。【解決手段】銀系薄膜と、この銀系薄膜の表裏に設けられ、銀系薄膜を挟持する透明酸化物薄膜とからなる導電性反射防止膜において、前記透明酸化物薄膜が、酸化スズ、酸化インジウムまたは、酸化スズと酸化インジウムとの2元系酸化物のうちから選択される第1の基材と、第1の基材と混合形成することにより非晶質となる第2の基材との混合酸化物により構成された非晶質膜であり、かつ上記銀系薄膜が 1.5 atm%(原子パーセント)以上の金元素を含有せしめたことを特徴とする導電性反射防止膜。

請求項（抜粋）：

銀系薄膜と、この銀系薄膜の表裏に設けられ、銀系薄膜を挟持する透明酸化物薄膜とからなる導電性反射防止膜において、前記透明酸化物薄膜が、酸化スズ、酸化インジウムまたは、酸化スズと酸化インジウムとの2元系酸化物のうちから選択される第1の基材と、第1の基材と混合形成することにより非晶質となる第2の基材との混合酸化物により構成された非晶質膜であり、かつ上記銀系薄膜が 1.5 atm%(原子パーセント)以上の金元素を含有せしめたことを特徴とする導電性反射防止膜。

IPC (6件)：

G02B 1/11 , C01G 19/00 , C01G 19/02 , G02B 1/10 , G02F 1/1335 , G09F 9/00 318

FI (6件)：

G02B 1/10 A , C01G 19/00 A , C01G 19/02 C , G02F 1/1335 , G09F 9/00 318 A , G02B 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-173395
特開昭55-149909
特開平2-000901

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