露光装置及び露光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098412
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292942
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】高スペース効率でプリント配線基板Wを分割して露光できる露光装置を提供する。【解決手段】プリント配線基板Wを任意の領域に分割し、各領域毎にマスク1との位置合わせを行い、ガラスマスク1のマスク外周部FMを遮光板20、21、22、23により適宜遮光し、マスク1のパターンを焼き付ける。

請求項（抜粋）：

被露光基板を載置する基台装置と、該基台上の被露光基板に投影する所定のパターンを備え、前記被露光基板に接触又は近接可能に位置するマスクと、前記マスクと前記基台の少なくとも一方を移動させ、両者の相対的な位置関係を変更設定する移動装置と、前記露光基板を前記マスクに対応して任意の領域に区分し、前記移動装置を制御して該領域毎に前記マスクと被露光基板との位置合わせを行う位置合わせ装置と、前記マスクのパターンを基台装置上の被露光基板に投影させる光源装置と、前記マスクの任意の位置を露光させる露光調整装置と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

G03F 9/00 , G03F 7/22 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 9/00 Z , G03F 7/22 Z , H05K 3/00 H , H01L 21/30 502 C

Fターム (9件)：

2H097GA03 , 2H097GA45 , 2H097KA03 , 2H097LA09 , 5F046AA11 , 5F046AA16 , 5F046AA25 , 5F046CB05 , 5F046DD03

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭58-215025
特開昭59-037545
特開昭62-235952

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