特許
J-GLOBAL ID：200903000090102198
投影光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-155292
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354910
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】倍率の調整を行なうときに結像性能を劣化させることなく、また、歪曲の発生を最小限とし、さらに、倍率の調整を紫外線以下の光を精度良く利用できる投影露光装置の投影光学系を提供することを課題とする。【解決手段】投影光学系1は、投影光の方向を変える第1反射面4aおよび第2反射面4bを設けた反射体4と、この反射体の第1反射面に前記投影光を屈折透過して送る入射側凸レンズ2と、前記反射体の第2反射面から反射される前記投影光を出射する出射側凸レンズ3と、前記両凸レンズを共軸として所定間隔で支持し、光軸方向に対して平行に移動させる支持移動機構8と、前記第1反射面で反射した投影光を前記第2反射面に反射する反射補正光学系7と、を備え、前記反射補正光学系は、凹面反射ミラー6と、補正光学系5とを有する構成とした【選択図】 図2
請求項１：
光源から照射された紫外線を含む照明光を、マスクを透過させ投影光としてワークの露光領域に対して投影するときに用いられる投影光学系であって、
前記投影光の方向を変える第1反射面および第2反射面を所定角度に設けた反射体と、この反射体の第1反射面に前記投影光を屈折透過して送る位置に配置された入射側凸レンズと、前記反射体の第2反射面から反射される前記投影光を屈折透過する位置に配置された出射側凸レンズと、この出射側凸レンズおよび前記入射側凸レンズを共軸として所定間隔で支持すると共に、前記両凸レンズの光軸方向に対して平行に移動させる支持移動機構と、前記第1反射面で反射した投影光を前記第2反射面に反射する反射補正光学系と、を備え、前記反射補正光学系は、前記第1反射面からの投影光を前記第2反射面に向かって反射する凹面反射ミラーと、この凹面反射ミラーと前記反射体の間に設置される補正光学系とを有することを特徴とする投影光学系。
IPC (3件)：
G02B17/08
, G02B13/24
, H01L21/027
G02B17/08 Z
, G02B13/24
, H01L21/30 515D
2H087KA21
, 2H087NA04
, 2H087TA01
, 2H087TA05
, 5F046BA03
, 5F046CB02
, 5F046CB03
, 5F046CB12
, 5F046CB13
, 5F046CB14
, 5F046DA13
