特許
J-GLOBAL ID:200903000090723290

縦型炉

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 祥二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-238852
公開番号(公開出願番号):特開平11-067678
出願日: 1997年08月20日
公開日(公表日): 1999年03月09日
要約:
【要約】【課題】べローズの小口径化により製作費の低減化を図り、又、反応管が傾いてもウェーハを水平に保持可能な縦型炉を提供する。【解決手段】被処理基板を水平姿勢で多段に保持するボートをボートエレベータにより下方から反応室26へ装入、引出し、前記ボートを支持する炉口蓋30により前記反応室下端開口を閉塞する縦型炉に於いて、前記炉口蓋が、通孔39を穿設したシールキャップ33と、該シールキャップの下方に位置するベース31と、該ベースと前記シールキャップとの間に設けられ前記通孔を閉塞するべローズ32とを有し、前記ボートが前記べースに立設され前記通孔を貫通する連結棒34を介して支持される様構成し、前記反応室の下端開口部を気密に閉塞し、前記キャップ受け上の前記ボートに被処理基板を水平姿勢で保持した状態で該被処理基板に各種処理を施す。
請求項(抜粋):
被処理基板を水平姿勢で多段に保持するボートをボートエレベータにより下方から反応室へ装入、引出し、前記ボートを支持する炉口蓋により前記反応室下端開口を閉塞する縦型炉に於いて、前記炉口蓋が、通孔を穿設したシールキャップと、該シールキャップの下方に位置するベースと、該ベースと前記シールキャップとの間に設けられ前記通孔を閉塞するべローズとを有し、前記ボートが前記べースに立設され前記通孔を貫通する連結棒を介して支持されることを特徴とする縦型炉。
IPC (2件):
H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205
FI (2件):
H01L 21/22 511 B ,  H01L 21/205

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