特許
J-GLOBAL ID：200903000092788780
プラズマ発生およびプラズマによる材料の処理
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-530959
公開番号（公開出願番号）：特表2000-503800
出願日： 1998年01月06日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】プラズマ発生システムは1対以上の電極ユニット(1-1,1-2)を含む。各電極ユニットはそれぞれの軸(8)沿いにプラズマ生成ガスを放射する。電極ユニットの各対は電源(11)に接続し、二つの電極ユニットの放射するガス噴流を通じて放電を起こさせる。二つの電極ユニットの軸は「基準」平面(10)を区画する。各ユニットには前記基準平面の互いに反対の側に二つの磁極(14)を備える磁気回路(12)と結合してある。これら磁気回路の各々は、それぞれの電極ユニットから放射されたプラズマガス噴流(23-1または23-2)を前記電極ユニット対の他方のユニットからのプラズマ噴流(23)に近づけたり遠ざけたり動かすのに用いる。したがって、これら磁気回路(12)はプラズマ噴流の合流する角度を制御する。また、上記電極ユニットの各対について、プラズマ噴流(23)を基準面(10)と垂直に動かすように三磁極磁気回路(13)が備えてある。この磁気回路の三つの磁極(16-1,18,16-2)は基準面にほぼ沿って延びる。これら三つの磁極は“第1の”磁極(16-1)、“第2の”磁極(16-2)およびこれら第1および第2の磁極の間の“中間の”磁極を含む。上記プラズマ噴流の一方は前記第1および中間の磁極を通る磁界(B13-1)で制御し、他方のプラズマ噴流は前記第2および中間の磁極を通る磁界(B13-2)で制御する。
請求項（抜粋）：
第1のプラズマ流を発生する第1の電極ユニットと、 前記第1のプラズマ流と合流する第2のプラズマ流を発生する第2の電極ユニットと、 前記第1のプラズマ流を第1の方向で前記第2のプラズマ流に近づく向きまたは遠ざかる向きに動かす第1の磁界を発生する第1の磁界発生装置と、 前記第1および第2のプラズマ流を前記第1の方向と交叉する方向に動かす第2の磁界発生装置であって、前記第1のプラズマ流を動かすその発生磁界が前記第1の磁界と独立して制御できる第2の磁界発生装置とを含むプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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