特許

J-GLOBAL ID：200903000101630248

粒子線結像装置、粒子線結像装置に設けられるスペクトロメータ、粒子線結像方法及び粒子線結像装置の使用方法

発明者： フィリッペ・シュタイプ
出願人/特許権者： シュタイプ・インストルメンテ・ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 芦田 哲仁朗 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-016432
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208682
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 高いエネルギー分解能及び角度分解能を有し、特定のエネルギ分布と角度分布を有する粒子線の結像装置、その方法、この装置を用いた方法及びこの装置に用いたスペクトロメータを開示する。【解決手段】 エネルギ分布及び角度分布を有する荷電粒子の結像装置及び方法において、該結像装置に、通過する粒子線(109)の粒子線路をその間隔が粒子の角度分布に対応する平行粒子線路にする変向手段(110,111,112)を設け、この偏向手段に該粒子線路が指向される平坦な半透濾過電極(113,114)を設け、該濾過電極に所定の減加速電界を形成する電位差を掛けて該粒子流に該濾過電極を通過させしめ、該粒子の特定のエネルギ分解能及び角度分解能を表示する。

請求項（抜粋）：

減加速電界を形成する電位差が生じるように荷電され得、粒子線が選択されたエネルギに応じて通過できるように形成された半透濾過濾過電極を有する、所定のエネルギ分布と角度分布を有し荷電粒子を含む粒子線を検出器手段に結像するための粒子線結像装置において、前記粒子線を平行にして、前記半透濾過電極に指向され相互間隔が粒子線の角度分布に対応する実質的に平行な粒子路を通過させる変向手段を設けたことを特徴とする粒子線結像装置。

IPC (6件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/295 ,  H01J 49/44

FI (6件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/295 ,  H01J 49/44

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-075754
  
• 高透過率球状電極およびエネルギー分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-196110   出願人：工業技術院長, 科学技術庁金属材料技術研究所長
• 特開平2-199757