特許

J-GLOBAL ID：200903000104909626

周辺露光装置

発明者： 北山 文昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135183
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326019
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 最適露光量を迅速に決定できるようにする。【構成】 レジストが塗布された基板の周辺部を露光するための照明手段、および、これによって前記周辺部が順次露光されるように基板を回転および並進移動させる移動手段を備えた周辺露光装置において、最適露光量が得られるような照明手段の照度および移動手段の回転速度が得られるように、1枚の基板の周辺部を位置に応じて段階的または連続的に異なる露光量で試し露光する試し露光手段を具備する。

請求項（抜粋）：

レジストが塗布された基板の周辺部を露光するための照明手段、および、これによって前記周辺部が順次露光されるように基板を回転および並進移動させる移動手段を備えた周辺露光装置において、最適露光量が得られるような照明手段の照度および移動手段の回転速度が得られるように、1枚の基板の周辺部を位置に応じて段階的または連続的に異なる露光量で試し露光する試し露光手段を具備することを特徴とする周辺露光装置。