特許

J-GLOBAL ID：200903000114937350

ポリシリコン薄膜半導体およびポリシリコン薄膜半導体の製造方法

発明者： 山本 伸一 ,  西尾 幹夫 ,  河北 哲郎 ,  筒 博司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098656
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299629
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 画像表示装置において、低温プロセスにおける薄膜トランジスタの閾値電圧を制御をすることにより、駆動用TFTの特性のバラツキによる表示画面のバラツキを改善すること。【解決手段】 薄膜トランジスタを集積した薄膜半導体装置の製造において、不純物が薄膜内に混入していない(シート抵抗が1.0×109 ohm/sq.以上)I(intrinsic)層に限りなく近い膜を用いるとともに、活性層の結晶化にあたり不純物汚染を1×1017/cm3 未満に抑制することで、薄膜トランジスタの閾値電圧調整を可能にする。

請求項（抜粋）：

絶縁基板に非単結晶の半導体薄膜を成膜する第1の工程と、最低結晶化エネルギーを超える強度のレーザ光を半導体薄膜に照射して非単結晶を1.0×109 ohm/sq.以上のシート抵抗を有する多結晶に転換し薄膜トランジスタの活性層を形成する第2の工程と、薄膜トランジスタの閾値電圧を調整するために前記活性層に所定の濃度で不純物を注入する処理を行なった後、最低結晶化エネルギーよりも大きく多結晶の平均結晶粒径が最大となるエネルギー以下の強度を有するレーザ光を半導体薄膜に照射する処理を行ない前記活性層に注入された不純物を1.5×1018/cm3 未満の実効濃度で活性化する第3の工程と、活性層をチャネル領域としてそのまま残す部分以外の半導体薄膜に不純物を選択的に注入して少なくとも薄膜トランジスタのソース領域及びドレイン領域を形成する第4の工程とを備えた薄膜半導体装置の製造方法。

IPC (9件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/265 602 ,  H01L 21/265 604 ,  H01L 21/336 ,  H05B 33/14

FI (10件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 Z ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/265 602 C ,  H01L 21/265 604 Z ,  H05B 33/14 A ,  H01L 29/78 618 F ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (101件)：

2H092JA25 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KA10 ,  2H092MA08 ,  2H092MA18 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092NA05 ,  2H092NA22 ,  2H092NA24 ,  2H092NA29 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  5C094AA05 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA29 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094FB14 ,  5F052AA02 ,  5F052AA11 ,  5F052AA24 ,  5F052BB03 ,  5F052BB07 ,  5F052DB02 ,  5F052DB03 ,  5F052EA15 ,  5F052FA19 ,  5F052HA06 ,  5F052JA01 ,  5F110AA08 ,  5F110AA17 ,  5F110AA28 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF10 ,  5F110FF24 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110FF31 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG06 ,  5F110GG13 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN14 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110PP01 ,  5F110PP03 ,  5F110PP31 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ12 ,  5F110QQ23