固体接合方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323931
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138075
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】ロウ材を使用せずに多様な金属を固体状態で接合する。【解決手段】塩素化処理部10は、搬送装置12の上方に塩酸蒸気吹出し部18が配設してある。塩酸蒸気吹出し部18は、搬送装置12によって搬送されてくる金属からなる被接合部材14に塩酸蒸気22を吹き付け、被接合部材14の表面を塩素化する。塩素化した被接合部材14A、14Bとは、接合処理部30のチャンバ34内に設けた接合テーブル36の上に重ねて配置される。これらの被接合部材14は、接合シリンダ40によって相互に加圧されるとともにヒータ38、46によって加熱され、固体接合される。チャンバ34には、窒素ガス供給部48から窒素ガスが供給され、加熱された被接合部材14が酸化されるのを防止する。

請求項（抜粋）：

相互に接合される同種または異種の金属からなる被接合部材の少なくとも一方を塩素化処理したのち、両者を接触させて接合することを特徴とする固体接合方法。

IPC (4件)：

B23K 20/16 , B23K 20/00 , H01L 21/60 301 , B23K101:40

FI (4件)：

B23K 20/16 , B23K 20/00 Z , H01L 21/60 301 A , B23K101:40

Fターム (16件)：

4E067AA07 , 4E067AA08 , 4E067BB02 , 4E067CA02 , 4E067DA03 , 4E067DB03 , 4E067DC01 , 4E067DC04 , 4E067DC11 , 4E067EA05 , 4E067EB00 , 5F044EE04 , 5F044KK01 , 5F044KK11 , 5F044LL00 , 5F044QQ06

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