感光性ポリイミド前駆体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-343000
公開番号（公開出願番号）：特開2001-159818
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】一括露光方式でプリントギャップをつけて露光した際にも高解像性を有し、高感度で、短時間現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を得ることができる。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を有し、かつ数平均分子量が10000〜100000であるポリマーと、(b)一般式(1)で表されるポリマーの構造単位に対し100〜200mol%の、一般式(2)で表される不飽和二重結合及びアミノ基を含む化合物と、(c)ポリマーに対し1〜15重量%のN-アリールグリシン化合物とを含むことを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または、炭素数1〜30の有機基より選ばれた少なくとも1種の構造を表す。mは10000〜100000を示す。nは1または2を示す。)【化2】(R4、R5、R6は、水素または炭素数1〜10のアルキル基を示す。pは2または3を示す。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を有し、かつ数平均分子量が10000〜100000であるポリマーと、(b)一般式(1)で表されるポリマーの構造単位に対し100〜200mol%の、一般式(2)で表される不飽和二重結合及びアミノ基を含む化合物と、(c)ポリマーに対し1〜15重量%のN-アリールグリシン化合物とを含むことを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または、炭素数1〜30の有機基より選ばれた少なくとも1種の構造を表す。mは10000〜100000を示す。nは1または2を示す。)【化2】(R4、R5、R6は、水素または炭素数1〜10のアルキル基を示す。pは2または3を示す。)

IPC (9件)：

G03F 7/037 501 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F 20/60 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 503 , G03F 7/031 , G03F 7/038 504

FI (9件)：

G03F 7/037 501 , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F 20/60 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 503 , G03F 7/031 , G03F 7/038 504

Fターム (73件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC15 , 2H025BC35 , 2H025BC87 , 2H025CA19 , 2H025CA27 , 2H025CB25 , 2H025CB55 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J011PA97 , 4J011PB30 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA06 , 4J011RA10 , 4J011SA22 , 4J011SA42 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA65 , 4J011SA80 , 4J011SA82 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J043PA02 , 4J043QB31 , 4J043RA05 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043TA11 , 4J043TA22 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UB051 , 4J043UB052 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043XA13 , 4J043ZA46 , 4J043ZB22 , 4J100AL08Q , 4J100AL09Q , 4J100AL62Q , 4J100AL63Q , 4J100AL66Q , 4J100AM21P , 4J100AM24Q , 4J100AN03Q , 4J100AQ12Q , 4J100BA02Q , 4J100BA31P , 4J100BA31Q , 4J100BC65Q , 4J100BC79Q , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA23 , 4J100JA37

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