特許

J-GLOBAL ID：200903000127209397

光学式測定装置及び光学式測定方法

発明者： 森田 昌幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345468
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165621
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 低コストで高精度な観察及び測定を実現する。【解決手段】 レーザ発振器10から出射したレーザ光を、対物レンズ16によりウエハホルダ11に固定支持された半導体ウエハ2に照射し、この半導体ウエハ2に反射・散乱・回折して戻ってきたレーザ光をCCD撮像素子19により撮像する。その撮像結果を演算処理部20により演算処理する。このとき、光学系誤差の非対称成分が最小となるように、対物レンズ16及びウエハホルダ11を回転させる。

請求項（抜粋）：

所定の波長域の単色光を出射する単色光出射手段と、被測定物を固定支持する被測定物支持手段と、上記単色光出射手段から出射された単色光を上記被測定物に対して照射する照射手段と、上記照射手段により照射された単色光が上記被測定物により反射・散乱・回折して戻ってきた戻り光を検出する検出手段と、上記単色光出射手段、被測定物支持手段、照射手段、又は検出手段のうちの少なくともいずれかを、光軸に対して垂直な平面内で回転自在とする回転機構と、上記検出手段により検出した戻り光における孤立線の非対称性を計測する計測手段とを備えることを特徴とする光学式測定装置。

Fターム (30件)：

2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065DD08 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF65 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH08 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065LL10 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL49 ,  2F065MM01 ,  2F065MM04 ,  2F065MM11 ,  2F065NN06 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ28 ,  2F065UU01 ,  2F065UU04