特許

J-GLOBAL ID：200903000129819249

窒化珪素粉末、窒化珪素粉末の製造方法及び窒化珪素質焼結体

発明者： 桑原 治由 ,  大塚 昭男 ,  樫田 周
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211549
公開番号（公開出願番号）：特開平5-032405
出願日： 1991年07月29日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】 高純度で、しかも寸法精度、高温強度に優れ、半導体関連分野や各種エンジン部品などの純度や高温特性に対する要求が非常に厳しい分野にも十分に対応し得る窒化珪素質焼結体を得る。【構成】 純度99.999重量%以上の金属珪素粉末を水素と窒素との混合ガス又はアンモニアガス中で加熱して直接窒化した後、粉砕し、酸処理を行なうことにより、平均粒子径が0.3〜1μm、比表面積が6〜15m2/g、内部酸素含有量が0.1重量%以下、外部酸素量が0.4重量%以下、炭素含有量が0.1重量%以下、金属不純物の合計量が0.02重量%以下である高純度の窒化珪素粉末が得られ、この窒化珪素粉末を成型、焼結することにより、窒化珪素質焼結体を得る。

請求項（抜粋）：

平均粒子径が0.3〜1μm、比表面積が6〜15m2/g、内部酸素含有量が0.1重量%以下、外部酸素量が0.4重量%以下、炭素含有量が0.1重量%以下、金属不純物の合計量が0.02重量%以下であることを特徴とする窒化珪素粉末。

IPC (2件)：

C01B 21/068 ,  C04B 35/58 102