特許

J-GLOBAL ID：200903000130727706

規則合金薄膜からなる情報記録媒体の製造方法

発明者： 鈴木 淑男 ,  本多 直樹 ,  大内 一弘
出願人/特許権者： 秋田県
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162318
公開番号（公開出願番号）：特開平11-353648
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 高密度情報記録、特に磁気記録における情報の保存安定性に優れる記録媒体の製造方法を提供すること。【解決手段】 磁場や光を用い情報の記録再生を行う情報記録媒体の製造方法において、結晶格子面のミラー指数(100)の結晶面が基板と平行になるように制御されたCr、Pt、Pd、Au、Fe、Ni、MgO又はNiOから選ばれる元素もしくは化合物を主成分とした下地層を少なくとも一層作製し、更にL10形規則合金層を、P×D>3000(但し、P:Arガス圧(Pa)、D:ターゲット基板間距離(mm))を満たす範囲でスパッタ成膜により作製する。この様な規則合金薄膜からなる記録媒体の製造方法を工業用ハードディスク用ガラス基板に適用し、このガラス基板が使用できる低温において大きな結晶磁気異方性発現に必要な規則化を促進させ、記録媒体としての記録保存安定性を向上させる。

請求項（抜粋）：

磁場もしくは光を用いて情報の記録再生を行う情報記録媒体の製造方法において、結晶格子面のミラー指数(100)の結晶面が基板と平行になるように制御されたCr、Pt、Pd、Au、Fe、Ni、MgO又はNiOの何れから選ばれる元素もしくは化合物を主成分とする下地層を少なくとも一層作製し、更にL10形規則合金層を、P×D > 3000 ...(式1)但し、PはArガス圧(Pa)、Dはターゲット基板間距離(mm)、を満たす条件範囲においてスパッタ成膜により作製することを特徴とする、規則合金薄膜からなる情報記録媒体の製造方法。

IPC (4件)：

G11B 5/84 ,  G11B 11/10 501 ,  G11B 11/10 521 ,  G11B 11/10 541

FI (4件)：

G11B 5/84 Z ,  G11B 11/10 501 Z ,  G11B 11/10 521 C ,  G11B 11/10 541 B