特許
J-GLOBAL ID：200903000131962300
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-262087
公開番号（公開出願番号）：特開平8-099267
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 砥石として弾性砥石を使用しないことにより、仕上り形状にダレなどの変形を防止すると共に、砥石に作用する研磨圧が必要以上に大きくなっても、砥石マ-クやチッピングが発生せず、しかも、被加工材と砥石の位置合わせを容易に行い得る研磨装置を提供することを目的とする。【構成】 被加工材の表面を研磨する砥石と、前記砥石が貼付けられる回転基盤と、前記回転基盤の砥石貼付け面の反対面に設けられた軸と、前記回転基盤の軸が回転不能に、かつ上下動自在に組付けられる固定軸と、前記回転基盤の軸と前記固定軸との間に配された弾性体とを備え、前記固定軸を研磨機の回転主軸に装着するようにした。
請求項（抜粋）：
研磨機の回転主軸に対して、装着される研磨装置において、被加工材の表面を研磨する砥石と、前記砥石が貼付けられる回転基盤と、前記回転基盤の砥石貼付け面の反対面に設けられた軸と、前記回転基盤の軸が回転不能に、かつ上下動自在に組付けられる固定軸と、前記回転基盤の軸と前記固定軸との間に配された弾性体とを備え、前記固定軸を研磨機の回転主軸に装着するようにしたことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
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