特許
J-GLOBAL ID:200903000132573900

加速度センサの特性測定装置とこれを用いた加速度センサの特性選別方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-125747
公開番号(公開出願番号):特開2001-305156
出願日: 2000年04月26日
公開日(公表日): 2001年10月31日
要約:
【要約】【課題】 加速度センサの振幅特性及び位相特性を高精度に測定、選別することを目的とする。【解決手段】 ネットワークアナライザ1により所定の周波数で連続的に振動している振動テーブル4上に加速度センサの一種類である衝撃センサ6及び基準センサ5とを設置する。また衝撃センサ6及び基準センサ5をそれぞれ端子9を介してネットワークアナライザ1に接続し、振幅特性及び位相特性を測定する。この時端子9は振動テーブル4と同様の周波数で連続的に振動させている。次いで測定した振幅特性及び位相特性とを比較することにより衝撃センサ6の選別を行う。
請求項(抜粋):
加速度センサ及び基準センサとを設置するための支持体と、この支持体を所定の周波数で振動させるための電源と、前記加速度センサ及び基準センサにそれぞれ端子を介して電気的に接続した振幅特性及び位相特性測定手段と、この測定手段に接続すると共に前記基準センサと前記加速度センサの振幅特性及び位相特性とを比較することにより前記加速度センサの選別を行う選別手段とを備え、前記端子を前記支持体と同様に振動させるように構成した加速度センサの特性測定装置。
IPC (3件):
G01P 21/00 ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/08
FI (3件):
G01P 21/00 ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/08 Z

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