特許
J-GLOBAL ID：200903000135561458

製品収容容器用パージシステム

発明者：
鈴木 仁

鈴木 仁 について

, 
宮嶋 俊彦

宮嶋 俊彦 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (12件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  臼井 伸一 ,  藤野 育男 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  高梨 憲通 ,  朝日 伸光 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  松井 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-147643
公開番号（公開出願番号）：特開2004-345715
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】FOUP等、被収容物を収容する容器の内部をパージする際に用いられる給排気ポートにおいて、当該給排気ラインを外部環境に対して良好にシールするシステムを提供する。【解決手段】シール部材20を、リング形状の本体部、本体部におけるリング内周部より突出する内周リップ20b、および本体部におけるリング外周部より外周リップ20cを有する形状とし、内周リップ20b、外周リップ20c等により形成される空間を排気可能な構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
製品を収容する容器に形成されたポートと、前記容器が載置される台に形成されたポートとを、シール部材を介して略当接させ、前記台側のポートと前記容器側のポートとの間において、前記容器内部に対してガスの供給あるいは排気の少なくとも一方を行うガスラインを形成するシステムであって、前記シール部材は、前記台側のポート開口端部において当該開口の外周を囲んで固定されるリング形状からなる本体部と、前記本体部のリング形状の内周部より前記本体部が固定された側の開口端部とは異なる他方の開口端部方向に概略向かって伸びる第一のリップ部と、前記本体部のリング形状の外周部より前記本体部が固定された側の開口端部とは異なる他方の開口端部方向に概略向かって伸びる第二のリップ部と、前記本体部において前記第一および第二のリップ部の間に前記第一および第二のリップ部が形成されていない端面に貫通する孔とを有し、 前記台は、前記孔と連通し、排気系に接続されるガス流路を有することを特徴とするシステム。
IPC (6件)：
B65B31/00 ,  B65D81/24 ,  B65D85/86 ,  B65G1/00 ,  F16J15/10 ,  H01L21/68
FI (7件)：
B65B31/00 Z ,  B65D81/24 C ,  B65G1/00 521D ,  F16J15/10 D ,  F16J15/10 N ,  H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (38件)：
3E053AA01 ,  3E053BA10 ,  3E053DA07 ,  3E053JA03 ,  3E067AB47 ,  3E067AC03 ,  3E067BA05A ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GA18 ,  3E067GB02 ,  3E067GB07 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096DA18 ,  3E096DC02 ,  3E096FA03 ,  3E096FA22 ,  3E096GA20 ,  3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3J040AA17 ,  3J040BA03 ,  3J040EA01 ,  3J040EA16 ,  3J040FA05 ,  3J040HA09 ,  3J040HA15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14
引用特許：
審査官引用 (3件)

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