特許

J-GLOBAL ID：200903000135653743

鋼球移動式吸着ステージ

発明者： 照 太郎 ,  丸山 徹 ,  大出 俊夫
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-069367
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 被吸着物の多種多様な形状に起因して吸着ステージに不定的に点在する未吸着穴を鋼球により完全に塞ぐことができるようにする。【構成】 吸気道10はS字状に湾曲し、ステージ面11に設けた吸着口12から真空チャンバーへの開口13へ抜ける。吸気道10の途中に少し大径の鋼球移動部14を設けて鋼球15を入れる。鋼球移動部14の開口13側のテーパー部16は鋼球15を吸着した際に鋼球15との間に隙間が生じない寸法、形状とし、吸着口12側のテーパー部17は鋼球15が自重により着座した際に鋼球15との間に隙間が生じる寸法、形状とする。吸気時に吸着口12がワークによって塞がれると、吸気は鋼球15とテーパー部17の間の隙間を通って真空チャンバーへと吸引され、吸気道10内が真空となってワークを吸着する。吸着口12が未吸着になると、吸着口12からの強い空気流によって鋼球15が上方へと移動し、隙間の無いテーパー部16に着座して保持され、これによって吸気道10を塞ぐ。

請求項（抜粋）：

ステージ面に開口する吸着穴から真空チャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移動部を有する吸着ステージにおいて、上記吸気道を湾曲させ、その途中に鋼球移動部を設け、その鋼球移動部の吸気入口が吸気出口より下側に位置することを特徴とする鋼球移動式吸気ステージ。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  B65H 29/32

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-116488
  
• 特開昭60-085891
  
• 特開平3-035990
  
• 特開昭61-206744
  
• 特開平1-220636