特許
J-GLOBAL ID：200903000143301996
アクティブ除振装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266650
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128498
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、電子顕微鏡装置のように、機器本体の絶対加速度ではなく、その部材間の相対変位を問題としている場合には、床振動に対して、アクティブ除振装置に支持された定盤とこの定盤に搭載された機器の加速度を検出し、このデータに基づいて上下方向に加力できるように配置したアクチュエータを制御して、機器の高さ方向の2点間の相対加速度を低減する高精度でかつ安価なアクティブ除振装置を提供することにある。【構成】 ばね部材と振動減衰部材とからなるパッシブ除振部材と、これに並列に設けた上下方向に加力できる複数本のアクチュエータ3と、機器46の振動を検出してアクチュエータ3を制御するコントローラ12とから構成される。【効果】 本発明によれば、床振動に対して、機器の部材間の相対変位を大幅に低減することができる。
請求項（抜粋）：
機器を搭載する定盤を、ばね部材からなるパッシブ除振部材と、前記定盤を上下方向へ加力するアクチュエータとを並列に配置して支持し、前記アクチュエータを前記機器の振動に基づいて制御することにより、前記機器の部材間の相対変位を低減することを特徴とするアクティブ除振装置。
IPC (2件)：
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