特許

J-GLOBAL ID：200903000147257975

回路基板搬送装置

発明者： 永井 琢己
出願人/特許権者： オプトレックス株式会社 ,  広島オプト株式会社
代理人 (1件)： 大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-373942
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180095
出願日： 2005年12月27日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：

【課題】被搬送物である回路基板を負圧吸着により保持して所定方向に搬送する回路基板搬送装置において、異形の回路基板に対して低コストで対応できるようにする。【解決手段】X,Y,Zの3軸方向に移動可能であって、底面に負圧源と連通する開口部(共通ヘッド120のサブチャンバー123)を有する搬送ヘッド110と、その開口部と連通し回路基板の形状に沿って形成された吸着部131を有し、搬送ヘッド110の底面に上記開口部を覆うように気密的に取り付けられる吸着ヘッド130とを含み、吸着ヘッド130を搬送ヘッド110に対して着脱可能とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被搬送物である回路基板を負圧吸着により保持して所定方向に搬送する回路基板搬送装置において、 X,Y,Zの3軸方向に移動可能であって、底面に負圧源と連通する開口部を有する搬送ヘッドと、上記開口部と連通し上記回路基板の形状に沿って形成された吸着部を有し、上記搬送ヘッドの底面に上記開口部を覆うように気密的に取り付けられる吸着ヘッドとを含み、上記吸着ヘッドが上記搬送ヘッドに対して着脱可能であることを特徴とする回路基板搬送装置。

IPC (1件)：

H05K 13/02

FI (1件)：

H05K13/02 U

Fターム (5件)：

5E313AA11 ,  5E313CC03 ,  5E313DD01 ,  5E313DD05 ,  5E313DD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• フレキシブル基板貼付け装置および同装置を備えた基板製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-017099   出願人：アイパルス株式会社