特許

J-GLOBAL ID：200903000149075785

ワークピース照明装置

発明者： シュヴァイツァー,ユルゲン
出願人/特許権者： カール・ツアイス・シュティフテュング・ハンデルンド・アルス・カール・ツアイス
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-539968
公開番号（公開出願番号）：特表2002-509032
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】この発明は、いくつかの個々に調節可能な偏向装置からなり、いくつかの物理的に分離された個々の加工光束が、これらの偏向装置によって導かれるようにし、これらの偏向装置が、ワークピースのいくつかの変更可能な点あるいは面に照射される加工光束の光路に別々に配置されているようにしたワークピース照射装置に関する。この発明によれば、少なくとも一つの測定光束を発生させるための補助的な光源が照射装置に配置され、この補助的な光源からの測定光束がいくつかの偏向装置を同時に照射する。測定光束の波長に感度を有する撮像装置が、ワークピース照射装置に配置され、偏向装置によって分けられた測定光束の少なくとも一部分を受けてそれらの偏向装置の偏向効果を検出する。

請求項（抜粋）：

複数の個々に調節可能な偏向装置からなり、および、その際複数の空間的に互いに分離された個々の加工光束が、前記加工光束の光路に配置された前記偏向装置によって少なくとも一つの照射対象であるワークピースの様々な点あるいは面上にその都度個々に導かれるようにしたワークピース照明装置において、前記ワークピース照明装置内に少なくとも一つの測定光束を発生させる補助的な光源が配置されて、前記補助的な光源から発生させられた前記測定光束が、複数の前記偏向装置に同時に入射し、および、前記ワークピース照明装置内に前記測定光束の波長に感度を有している測定撮像装置が配置されて、前記装置が、照射された前記偏向装置から導かれた前記測定光束の少なくとも一部分を前記偏向装置の偏向効果の検出のために測定を行うようにしたワークピース照明装置。

IPC (3件)：

B23K 26/02 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06

FI (3件)：

B23K 26/02 C ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/06 Z

Fターム (4件)：

4E068CB08 ,  4E068CC02 ,  4E068CD04 ,  4E068CD12