特許
J-GLOBAL ID：200903000162891958
評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-013974
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210858
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 電空ポジショナなど、圧力などを調節して気体を供給する気体供給装置の動作を評価診断することを目的とする。【解決手段】 信号空気圧力検出手段6が検出する信号空気の圧力と、フィードバックセンサ5が検出する駆動空気の圧力と、空気流量計測手段8が計測した駆動空気の流量との関係の特徴を特性式として表現し、特性演算部9においてその特性式における係数を最小二乗推定によって推定する。
請求項（抜粋）：
排出口に導通している第1の部屋と、入力気体が導入され前記第1の部屋と隔壁を介して連設する第2の部屋と、前記隔壁と連動する吸気弁を介して導入した供給気体を出力気体として導出し、前記隔壁と連動する排気弁を介して前記第1の部屋に導通する第3の部屋とから構成され、前記入力気体の圧力により変動した隔壁に連動して前記吸気弁が解放することで、前記供給気体を導入して出力気体を導出し、前記入力気体の圧力低下に伴う前記隔壁の動作に連動して前記吸気弁が閉じ、前記排気弁が解放することで、前記出力気体が前記第1の部屋を介して排出口より排出される気体供給装置の評価方法において、前記入力気体の圧力と出力気体の圧力と出力気体の流量との関係の特徴を特性式として表現し、前記特性式における係数を最小二乗推定によって推定することで、前記気体供給装置の状態を評価することを特徴とする評価方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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