特許

J-GLOBAL ID：200903000163077740

ウエハ検査装置等におけるウエハの位置決め方法

発明者： 松野 清伯 ,  岡本 武 ,  多田 重之 ,  田貫 富和 ,  田中 昌也
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118992
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306977
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 プリアライメントとファインアライメントを同じ装置で行えるようにする。【解決手段】 プリアライメント工程とファインアライメント工程を同一のカメラで行う。

請求項（抜粋）：

プリアライメント工程とファインアライメント工程を同一のカメラで行うことを特徴とするウエハ検査装置等におけるウエハの位置決め方法。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 M ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 350 H ,  H01L 21/30 520 A