特許
J-GLOBAL ID：200903000163665730

基板検査装置および基板検査方法

発明者：
長 濱 一郎太

長 濱 一郎太 について

, 
山 崎 裕一郎

山 崎 裕一郎 について

, 
大 西 篤 志

大 西 篤 志 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  箱崎 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-035297
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212398
出願日： 2006年02月13日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】歪みが無く、コントラストの良い検出画像を取得する。【解決手段】電子ビームを生成して試料Sに照射する電子銃部20と、電子ビームの照射により前記試料の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出する電子検出部40と、を含む電子ビーム装置10を備える基板検査装置1において、イオンを生成し、電子銃10部による電子ビームの照射に先立って試料Sにイオンを照射することにより、試料Sの表面層における局所的な電位差を解消する表面電位均一化装置150をさらに備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
電子ビームを生成して基板に照射する電子ビーム照射手段と、 前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を出力する電子検出手段と、 イオンを生成し、前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する表面電位均一化手段と、 を備える基板検査装置。
IPC (4件)：
G01N 23/225 ,  G01N 23/20 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N23/225 ,  G01N23/20 ,  H01J37/20 H ,  H01L21/66 J
Fターム (32件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001EA05 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA07 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001JA15 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001RA10 ,  2G001RA20 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ04 ,  5C001CC04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM