遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物 | 特許情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター

【要約】【課題】遠紫外光、とくにArFエキシマレーザー光を使用する上記ミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決することであり、具体的には、コンタクトホールパターンの疎密依存性に優れた遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)特定の脂環式構造を主鎖に有し、かつ酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)下記一般式(I)で表される繰り返し単位と、下記一般式(II)で表される繰り返し単位と、下記一般式(IV)で表される繰り返し単位、下記一般式(V-1)〜(V-4)で表される部分構造を有する繰り返し単位及び下記一般式(VI)〜(X-d)で表される繰り返し単位の群より選択される少なくとも一種を有し、かつ酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】一般式(I)中:R11〜R14は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH、-COOR15、酸の作用により分解する基、-C(=O)-X-A-R16、又は置換基を有していてもよいアルキル基あるいは環状炭化水素基を表し、且つ、R11〜R14のうち少なくとも1つは酸の作用により分解する基を表す。また、Rl1〜R14のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。nは0又は1を表す。R15は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基又は下記-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-又は-NHSO2NH-を表す。Aは単結合又は2価の連結基を表す。R16は、-COOH、-COOR15、-CN、水酸基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、-CO-NH-R17、-CO-NH-SO2-R17又は前記の-Y基を表す。R17は、置換基を有していてもよい、アルキル基又は環状炭化水素基を表す。-Y基;【化2】-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a,bは1又は2を表す。【化3】一般式(II)中:Z2は、-O-又は-N(R41)-を表す。ここでR41は、水素原子、水酸基又は-OSO2-R42を表す。R42は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。【化4】【化5】一般式(IV)中、R1aは、水素原子又はメチル基を表す。W1は、単結合、アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表す。Ra1,Rb1,Rc1,Rd1,Re1は各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。m,nは各々独立に0〜3の整数を表し、m+nは、2以上6以下である。但し、一般式(IV)において、-COO-W1-Lcは本質的に酸分解性基を表さない。一般式(V-1)〜(V-4)において、R1b〜R5bは、各々独立に水素原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表す。R1b〜R5bの内の2つは、結合して環を形成してもよい。但し、一般式(V-1)〜(V-4)は本質的に酸分解性基を構成しない。一般式(VI)において、A6は単結合、アルキレン基、シクロアルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表す。R6aは水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、シアノ基、又はハロゲン原子を表す。一般式(VII)中、R1cは水素原子又はメチル基を表す。R2c〜R4cは、各々独立に水素原子又は水酸基を表す。ただし、R2c〜R4cのうち少なくとも1つは水酸基を表す。一般式(VIII)において、A1d〜A3dとしては、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子、シアノ基を表す。Xdは、単結合または連結基を表す。R1d〜R8dは、各々独立に水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Rd0は、水素原子あるいは、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。mは、1〜10の整数を表す。一般式(IX)中、R2b〜R4bは、各々独立に、水素原子、置換基を有して良いアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、環状アルキル基を表す。但し、R2b〜R4bは互いに結合して非芳香環、芳香環を形成しても良い。R5b〜R7bは、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基を表す。R11b、R12bは、各々独立に、水素原子、置換基を有して良いアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、環状アルキル基を表す。但し、R11b、R12bは互いに結合して環状アルキル環を形成しても良い。m:0〜10の整数A9:単結合および2価の有機基を表す。X-:R-SO3-、R:置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基、又は置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表す。一般式(X-c)、(X-d)中、R1gは、水素原子、ハロゲン原子又は1〜4個の炭素原子を有する置換もしくは非置換の直鎖もしくは分岐のアルキル基を表す。R11gは、単結合、アルキレン基、アリーレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。R13gは、アルキレン基、アリーレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。R12gは各々独立に水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Z10は、単結合、エーテル基、エステル基、アミド基、アルキレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。R14gは置換基を有していてもよい、アルキル基、環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。A10は、下記に示す官能基のいずれかを表す。【化6】

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , C08F222/04 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08L 57/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , C08F222/04 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08L 57/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB09 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 4J002BK001 , 4J002CH022 , 4J002CP032 , 4J002EB006 , 4J002ED038 , 4J002ED058 , 4J002EH058 , 4J002EN136 , 4J002EQ016 , 4J002ER027 , 4J002EU027 , 4J002EU047 , 4J002EU077 , 4J002EU117 , 4J002EU127 , 4J002EU137 , 4J002EU147 , 4J002EU186 , 4J002EU226 , 4J002EU237 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002EY006 , 4J002EZ006 , 4J002FD206 , 4J002FD312 , 4J002FD318 , 4J002GP03 , 4J100AB07R , 4J100AK32Q , 4J100AL08R , 4J100AM21R , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AM47Q , 4J100AR09S , 4J100AR11P , 4J100AR11S , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04P , 4J100BA05R , 4J100BA05S , 4J100BA06R , 4J100BA06S , 4J100BA08R , 4J100BA10S , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA11S , 4J100BA14R , 4J100BA15P , 4J100BA15R , 4J100BA15S , 4J100BA16R , 4J100BA20P , 4J100BA20R , 4J100BA20S , 4J100BA28R , 4J100BA32R , 4J100BA34R , 4J100BA34S , 4J100BA37R , 4J100BA38R , 4J100BA40S , 4J100BA55Q , 4J100BA55R , 4J100BA58R , 4J100BA58S , 4J100BB01R , 4J100BB01S , 4J100BB18Q , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC04S , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC08R , 4J100BC08S , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC09S , 4J100BC12R , 4J100BC23R , 4J100BC43R , 4J100BC48R , 4J100BC49R , 4J100BC53P , 4J100BC53R , 4J100BC53S , 4J100BC59R , 4J100BC65R , 4J100BC69R , 4J100BC74R , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38