特許
J-GLOBAL ID：200903000172164191
薄膜センサーの取付け方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004120
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213690
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 耐熱性の良好な薄膜センサーの取付け方法を提供する。【構成】 機械部品1の温度などを計測すべく薄膜センサー9を取付ける方法において、部品1表面に耐熱金属層2を形成し、その耐熱金属層2上に、窒化ケイ素層3,5,とアルミナ層4,6または窒化ケイ素層10,12,と窒化ホウ素層11とを交互に積層した絶縁薄膜8,13を形成すると共にその絶縁薄膜に薄膜センサー9を取り付けたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
機械部品の温度などを計測すべく薄膜センサーを取付ける方法において、部品表面に耐熱金属層を形成し、その耐熱金属層上に窒化ケイ素層とアルミナ層とを交互に積層した絶縁薄膜を形成すると共にその絶縁薄膜に薄膜センサーを取り付けたことを特徴とする薄膜センサーの取付け方法。
引用特許：
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