特許

J-GLOBAL ID：200903000173868842

圧電素子およびその製造方法、圧電アクチュエータ、並びに、インクジェット式記録ヘッド

発明者： 王 小興 ,  岩下 節也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也 ,  竹腰 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-359308
公開番号（公開出願番号）：特開2007-165553
出願日： 2005年12月13日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】環境に優しく、良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子1は,基板2と、基板の上方に形成され、(Na,K,Li)NbO3からなる圧電体を少なくとも含む圧電体膜6と,を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板の上方に形成され、(Na,K,Li)NbO3からなる圧電体を少なくとも含む圧電体膜と、を含む、圧電素子。

IPC (8件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H02N 2/00 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/16

FI (8件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101Z ,  H02N2/00 B ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (6件)：

2C057AF55 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3666177号公報