特許
J-GLOBAL ID：200903000175979641
ワーク搬送方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204369
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058181
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 処理条件が異なるワークの混在を許容して一つ宛搬入される複数のワークを収容するストッカーから、処理装置へ逐次にワークを搬送するワーク搬送に関し、同一処理条件のワークを適宜数連続して搬送し、他の処理条件のワークの搬送に異常な遅れが生じないようにして、処理装置のスループットを向上させる。【構成】 ストッカー1から処理装置2へのワークの搬送は、ストッカーへのワークの搬入順序に係わりなく、適宜時点のストッカー内にある同一処理条件のワークを連続させて行い、そのことを処理条件毎に順次に切り替えて、その切り替えの一巡りを1サイクルとするようにし、ストッカーに収容されたワークの識別番号および収容棚番を該ワークのデータとして、複数ワークのデータを記録する複数のストック用データテーブル11と、一つのストック用データテーブルの全データを転送により記録する搬送用データテーブル12とを運用して行う。
請求項（抜粋）：
処理条件が異なるワークの混在を許容して一つ宛搬入される複数のワークを収容するストッカーから、処理装置へ逐次にワークを搬送するに際して、ストッカーから処理装置へのワークの搬送は、ストッカーへのワークの搬入順序に係わりなく、適宜時点のストッカー内にある同一処理条件のワークを連続させて行い、そのことを処理条件毎に順次に切り替えて、その切り替えの一巡りを1サイクルとする、ことを特徴とするワーク搬送方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
