特許
J-GLOBAL ID：200903000177742266
洗浄水撥水剤及びそれを用いたダイシング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332356
公開番号（公開出願番号）：特開平8-164517
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 ダイシング時に発生する切り屑がウェハ表面へ付着するのを防ぐ。【構成】 ダイシング前の基板表面に洗浄水撥水剤として用いる化合物が、基板表面のSiO2 と結合する結合部位と疎水部位とを備える。
請求項（抜粋）：
複数の素子が形成された基板の表面を各素子ごとに分割する際に、純水で洗浄する前に前記基板上に施される洗浄水撥水剤であって、前記洗浄水撥水剤が、前記基板表面のSiO2 と結合する結合部位と、疎水部位とを備えた化合物であることを特徴とする洗浄水撥水剤。
IPC (4件)：
B28D 7/02
, C09K 3/18 104
, H01L 21/304 341
, H01L 21/301
