特許
J-GLOBAL ID：200903000178164983
回転式薬液処理装置のシール構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-105360
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308624
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 一旦装着されたシール部材の外れを確実に防止するとともに、回転カップを高速回転させても発塵することのないようにする。【構成】 回転カップ2と、この回転カップ2を上方から環状のOリング9を介して被覆するフード3とを有する回転式薬液処理装置のシール構造であって、上記回転カップ2には周縁部上面に内側突起27および外側突起28からなる環状突起が設けられ、上記内側突起27は径方向外方の壁面に上記Oリング9が嵌入可能な楔溝が形成され、上記フード3には被覆時に上記Oリング9の上記楔溝から一部露出した面に当接する環状縁部が形成されている。
請求項（抜粋）：
回転カップと、この回転カップを上方から環状の弾性シール部材を介して被覆するフードとを有する回転式薬液処理装置のシール構造において、上記回転カップには周縁部上面に環状突起が設けられ、上記環状突起は径方向外方の壁面に上記弾性シール部材の内周面側が嵌入可能な環状溝が形成され、上記フードには被覆時に上記弾性シール部材の外周面側であって上記環状溝から一部露出した面に当接する環状縁部が形成されていることを特徴とする回転式薬液処理装置のシール構造。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
