特許
J-GLOBAL ID：200903000183075069
光てこ式変位検出器
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-299703
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145314
出願日： 1995年11月17日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 光てこ用の光学系において、迷光がポジションセンサーに入射したり、レーザーの様な物質を励起して発光する光源がモードホップを起こしたりすることを防ぎ、安定して動作する光てこ式変位検出器を提供する。【解決手段】 光源と、光を反射する反射面を有し、物理的環境の変化に応じ反射面が変位する変位部と、光源からの光が入射する面と、光源からの光を変位部の方向へ射出しかつ変位部の反射光を入射する面と、変位部の反射光が射出する面との3面を有した光分配器と、変位部と光分配器との間の光路上に設けられ、変位部と光分配器との間の光路上に設けられ、光分配器から射出した光を入射する面への光分配器から光の入射角が90度未満である光学部材を有した。
請求項（抜粋）：
光源と、光を反射する反射面を有し、物理的環境の変化に応じ反射面が変位する変位部と、すくなくとも前記光源からの光が入射する面と、前記光源からの光を前記変位部の反射面へ射出しかつ前記変位部の反射光を入射する面と、前記変位部の反射光を入射する面から入射した光が射出する面との3面を有した光分配器と、前記変位部と前記光分配器との間の光路上に設けられ、前記光分配器から射出した光の光軸に対して入射面が傾いて固定されている光学部材を有していることを特徴とする光てこ式変位検出器
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 C
, G01N 37/00 F
