特許

J-GLOBAL ID：200903000183848335

シール方法及びシール機構並びに真空処理装置

発明者： 猪ノ上 勝典 ,  平野 裕之 ,  土城 稔 ,  長沢 照治 ,  島田 鉄也
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233968
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048244
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成として、信頼性が向上でき、コストも低減できるシール方法及びシール機構を提供すること。【解決手段】 シールされて合わされるべき部材20、21のうち少なくともどちらか一方20に形成された環状の空所32に、他方21への方向のみに膨張可能に環状弾性体22が嵌められ、この環状弾性体22は、流体圧力供給手段38と接続される中空部22cを有し、流体圧力供給手段38からその中空部22cに流体圧力が供給されると環状弾性体22は膨張して他方の部材21に圧接され、環状弾性体22の内周側22aの空間23と外周側22bの空間24とを遮断するシール部33が形成される。

請求項（抜粋）：

環状弾性体を介在させて2つの部材を合わせ、前記環状弾性体の内周側の空間と外周側の空間とを遮断するシール部を形成するシール方法において、前記部材のうち少なくともどちらか一方に、他方への方向のみに膨張可能に前記環状弾性体を取り付け、この環状弾性体を流体圧力により膨張させ前記他方に圧接させて前記シール部を形成するようにしたことを特徴とするシール方法。

IPC (5件)：

F16J 15/14 ,  B01J 3/03 ,  C21D 1/74 ,  C23C 14/56 ,  F27D 7/06

FI (5件)：

F16J 15/14 A ,  B01J 3/03 J ,  C21D 1/74 L ,  C23C 14/56 G ,  F27D 7/06 B

Fターム (8件)：

4K029CA01 ,  4K029DA02 ,  4K029DA12 ,  4K029KA05 ,  4K063AA05 ,  4K063AA16 ,  4K063BA12 ,  4K063DA22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フランジのシール装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-338798   出願人：日本鋼管株式会社
• 真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112398   出願人：日新電機株式会社