特許
J-GLOBAL ID：200903000185559926
共焦点走査型光学顕微鏡の自動画像形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078871
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271803
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】複数の高さの平面を持ち、各平面間の斜面が急峻な観察試料を測定する場合であっても、その測定範囲の自動設定を正確に行なう。【構成】光検出器13の出力信号に対する任意の信号レベルと試料8 の異なる高さの平面領域数とを設定することで、光検出器13の出力信号レベルが上記設定した信号レベル以下となっている画素数を計数し、Z移動回路15により光軸方向に移動を行ないながら得られる上記画素数が予め設定された画素数以上となったか否かにより観察試料の当該走査位置が平面領域であるか否かを検出し、この検出結果と上記設定した平面領域数とに基づいて試料8 の上限位置と下限位置とを検出する画像処理ユニット14を備える。
請求項（抜粋）：
点状光源から出た光を観察試料に集光する対物レンズと、観察試料からの光を検出する光検出器と、観察試料に集光した光と観察試料とを相対的に2次元走査する走査機構と、上記対物レンズの焦点位置と観察試料との相対的な位置を光軸方向に移動する移動機構とを有する共焦点走査型光学顕微鏡において、上記検出器の検出信号に対する任意の信号レベルを設定するレベル設定手段と、上記観察試料の異なる高さの平面領域数を設定する平面数設定手段と、上記検出器の検出信号のレベルが上記レベル設定手段で設定した信号レベル以下となっている画素数を計数する画素数計数手段と、上記移動機構により光軸方向に移動を行ないながら上記画素数計数手段からの画素数が予め設定された画素数以上となったか否かにより観察試料の当該走査位置が平面領域であるか否かを検出する第1の検出手段と、この第1の検出手段の検出結果と上記平面数設定手段で設定した平面領域数とに基づいて観察試料の上限位置と下限位置とを検出する第2の検出手段とを具備したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡の自動画像形成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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