洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341465
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189519
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】洗浄用薬液の濃度管理や交換管理を適切に行い、洗浄処理の最適化を図ることができる洗浄装置を提供すること。【解決手段】被洗浄物を洗浄処理するための洗浄用薬液が満たされる処理槽11と、前記洗浄用薬液を循環させる循環手段13を有する循環系12と、前記循環系に設けられ、前記洗浄用薬液を高温加熱する加熱手段15と、前記洗浄用薬液の濃度を補正する補正手段16、16aと、前記循環系に設けられ、前記洗浄用薬液の濃度を測定する測定手段17とを備える。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を洗浄処理するための洗浄用薬液が満たされる処理槽と、前記洗浄用薬液を循環させる循環手段を有する循環系と、前記循環系に設けられ、前記洗浄用薬液を高温加熱する加熱手段と、前記洗浄用薬液の濃度を補正する補正手段とを備えた洗浄装置であって、前記循環系に設けられ、前記洗浄用薬液の濃度を測定する測定手段を備えていることを特徴とする洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , B08B 3/08 , B05C 9/10

FI (3件)：

H01L 21/304 341 S , B08B 3/08 A , B05C 9/10

前のページに戻る