特許

J-GLOBAL ID：200903000192559885

固体撮像装置

発明者： 八木 慎一郎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-059049
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273566
出願日： 2003年03月05日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】遮光領域における金属遮光膜の突起物の形成を抑制し、光漏れを防止することができる固体撮像装置を提供する。【解決手段】撮像領域内に設けられ、複数の受光素子4が配置された受光領域2と、撮像領域のうち、受光領域2を除く領域を隙間無く遮光する遮光領域3とを有し、遮光領域3は、多層の金属遮光膜21,22により形成され、各層21,22により遮光面積が分割されている。遮光領域3は、金属遮光膜21,22の各層が互いに重なる領域をもつように形成されている。また、CMOSイメージセンサの場合には、遮光領域3は、撮像領域のうち受光領域を除く領域内に配置された、暗示の基準出力を出力する複数の受光素子4を遮光する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

撮像領域内に設けられ、複数の受光素子が配置された受光領域と、 前記撮像領域のうち、前記受光領域を除く領域を隙間無く遮光する遮光領域とを有し、 前記遮光領域は、多層の金属遮光膜により形成され、各層により遮光面積が分割されている 固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L27/146 ,  H01L27/14 ,  H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 A ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 D

Fターム (31件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA12 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA09 ,  4M118DB06 ,  4M118DB08 ,  4M118DD04 ,  4M118DD10 ,  4M118DD12 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118FA35 ,  4M118FA42 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB09 ,  4M118GB11 ,  4M118GB19 ,  5C024AX01 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GY03 ,  5C024GY04 ,  5C024GY05 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ36