特許
J-GLOBAL ID：200903000192896555
走査型プローブ顕微鏡およびそれを用いた微小異物の検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226569
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094643
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 微小異物と探針との位置合わせを迅速かつ確実に行なうことができる走査型プローブ顕微鏡とそれを用いた微小異物の検査方法を提供する。【構成】 走査型プローブ顕微鏡は、X-Y-Z微動素子アクチュエータ(4),第1および第2のX-Yアクチュエータ(11,6),探針(5),異物検出用のレーザ源(2,52)および光学顕微鏡(7)を備え、さらに、ロータリーアクチュエータ(21),ミラー手段(53,54)または印字用レーザ(91)の少なくとも1つを備えている。
請求項（抜粋）：
試料を探針に近接せしめて前記試料に対して前記探針を相対的に微小走査させるX-Y-Z微動素子アクチュエータと、前記試料の表面の微小異物を検出するための異物検出用ビーム光の光源と、前記異物検出用ビーム光の前記微小異物による散乱光を検出するための散乱光検出器と、前記試料表面の微小異物の存在位置を決定するための第1のX-Yアクチュエータと、前記探針の位置を決定するための第2のX-Yアクチュエータと、前記試料をX-Y平面内で回転させるためのロータリーアクチュエータとを備えたことを特徴とする試料表面の三次元像を測定するための走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G01N 21/88
