特許
J-GLOBAL ID：200903000195479572
表面粗さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-253154
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099336
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 加工装置上で、被加工物の表面粗さの測定を高精度に行うことができる表面粗さ測定測定装置を提供することを目的とするものである。【構成】 横形旋盤に設けられる表面粗さ測定装置であって、往復台5に設けられ、主軸3に保持された加工物4の加工面の表目粗さ測定する表面粗さ計9と、上記往復台5に設けられ、上記主軸3を保持する主軸台2に取着された参照用ミラ-18に対向する変位計16と、この変位計16にアンプ19を介して接続され、上記変位計16により検出される上記ミラ-18と変位計16との距離Lの変化に基づいて、上記主軸3と上記表面粗さ計9の距離が常に一定になるように、上記主軸3をフィ-ドバック制御するフィ-ドバックコントロ-ラ20とを具備するものである。
請求項（抜粋）：
加工物を保持する加工物保持部と、この加工物に対して設けられ、上記加工物を加工する工具を保持する工具保持部と、上記加工物保持部と工具保持部とを相対的に駆動することで上記加工物の加工を行わせる駆動手段とを具備する加工装置に設けられ、上記加工物の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置において、上記工具保持部に取着され、上記加工物の加工面の表面粗さを測定する表面粗さ計と、上記加工物保持部あるいは工具保持部に設けられ、表面粗さ測定中の上記加工物保持部と工具保持部との相対的距離を検出可能な変位計と、この変位計からの変位検出値の変化に基づき、上記変位計と上記加工物保持部との距離が常に一定になるように上記駆動手段を制御する制御部とを具備することを特徴とする表面粗さ測定装置。
IPC (2件)：
B23Q 17/20
, G01B 21/30 102
