特許

J-GLOBAL ID：200903000206326048

感光性樹脂組成物

発明者： 工藤 隆範 ,  野崎 優子 ,  長尾 一矢 ,  南條 有紀
出願人/特許権者： ヘキストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 池浦 敏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-277093
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211607
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】 高感度であること、露光-現像工程間の加熱処理が不要であること、露光-現像間の時間変化による感度及びパターン形状の変化が極めて少ないこと、耐熱性に優れ且つ現像が水系であること、保存時の経時安定性に優れていること等の優れた特性を有する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)下記一般式(I)で示されるセグメントを含む重合体と、(3,4-エポキシシクロヘキシル)メチルメタクリレートとの反応生成物、(b)活性線の照射による重合開始剤、及び(c)溶剤を含み、好ましくは(d)熱架橋剤及び/又は重合可能な不飽和結合を有する化合物を含む。また、場合により(e)顔料を含む。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(I)で示されるセグメントを含む重合体と、(3,4-エポキシシクロヘキシル)メチルメタクリレートとの反応生成物、【化1】{式中、R1は同一又は異なっていてもよく、水素原子又はメチル基を表わし、R2は炭素数1〜5の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表わす。また、m及びnは重合度を表わし、m/n=0.5〜2.4(モル比)である。}(b)活性線の照射による重合開始剤、及び(c)溶剤を必須成分として含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-310784   出願人：タムラ化研株式会社
• 特開平4-270345
  
• 特開平1-209405
  
• 特開平1-152449