特許

J-GLOBAL ID：200903000210282900

磁気軸受装置

発明者： 篠崎 弘行 ,  松村 正夫
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128318
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313426
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】 電磁石のコイル自体のインダクタンスの変化を検出することにより被支持体の相対変位量を求めることができ、且つ相互誘導等の影響を受けずに制御信号周波数帯域迄被支持体の相対変位量を検出することのできる磁気軸受装置を提供する。【構成】 導体からなる励磁コイル1を有する電磁石2により被支持体4を非接触状態で支持する磁気軸受装置において、前記励磁コイル1に一定の周波数信号Aを含む電流を供給するパルス幅変調(PWM)型の電流増幅器6と、前記被支持体4の相対変位量に基づく前記励磁コイル1の磁気回路の変化による該励磁コイル1の自己インダクタンスの変化によりAM変調を受けた前記一定の周波数信号Aを検出する検出回路7とを備えた。

請求項（抜粋）：

導体からなる励磁コイルを有する電磁石により被支持体を非接触状態で支持する磁気軸受装置において、前記励磁コイルに一定の周波数信号を含む電流を供給するパルス幅変調(パルス幅)型の電流増幅器と、前記被支持体の相対変位量に基づく前記励磁コイルの磁気回路の変化による該励磁コイルの自己インダクタンスの変化によりAM変調を受けた前記一定の周波数信号を検出する検出回路とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。