特許

J-GLOBAL ID：200903000212779313

薄膜圧電共振器及びその製造方法

発明者： ▲もたい▼ 貴子 ,  柴田 浩延
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-262101
公開番号（公開出願番号）：特開2007-074647
出願日： 2005年09月09日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】 歩留まり低下の防止が可能な薄膜圧電共振器を提供する。【解決手段】 表面側に比べ、表面に対向する裏面側で開口幅が広い貫通孔を有する基板10と、表面側で貫通孔上を覆う下部電極14と、下部電極14上に設けられた圧電膜16と、下部電極14と対向して圧電膜16上に配置された上部電極18と、裏面側から貫通孔中に挿入され、貫通孔の下部を封止する封止板28とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面側に比べ、前記表面に対向する裏面側で開口幅が広い貫通孔を有する基板と、 前記表面側で前記貫通孔上を覆う下部電極と、 前記下部電極上に設けられた圧電膜と、 前記下部電極と対向して前記圧電膜上に配置された上部電極と、 前記裏面側から前記貫通孔中に挿入され、前記貫通孔の下部を封止する封止板 とを備えることを特徴とする薄膜圧電共振器。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (9件)：

5J108BB07 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 音響共振器とその製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154956   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• 米国特許第6713314号明細書