特許
J-GLOBAL ID:200903000222781952

β型窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-338844
公開番号(公開出願番号):特開平5-339060
出願日: 1991年12月20日
公開日(公表日): 1993年12月21日
要約:
【要約】【目的】 β型窒化ケイ素を原料粉末として用いたときでも、強度および靭性が高い値を示すと共に強度のばらつきが小さい高性能なβ型窒化ケイ素質焼結体を提供する。【構成】 α型とβ型とから構成される窒化ケイ素粉末においてβ型を80重量%以上含む原料粉末に、酸化物系焼結助剤として少なくとも周期律表の第IIIa族元素の酸化物から選ばれる1種または2種以上の酸化物を0.2重量%以上6重量%以下添加して成形した後、1気圧以上500気圧以下の窒素ガス圧下で1700°C以上2100°C以下の温度でかさ密度が理論密度の96%以上となるまで焼成することにより、高強度かつ高靭性でしかも強度のばらつきが小さいβ型窒化ケイ素質焼結体を得る。
請求項(抜粋):
α型とβ型とから構成される窒化ケイ素質焼結体において、β型窒化ケイ素が全窒化ケイ素の95重量%以上であり、焼結体中の全酸素量が3重量%以下であると共に、短軸径が5μm以上でかつアスペクト比が5以上である柱状粒子が材料全体の0.5体積%以上を占め、かさ密度が理論密度の96%以上であることを特徴とするβ型窒化ケイ素質焼結体。
IPC (3件):
C04B 35/58 102 ,  C04B 35/58 ,  C04B 35/64
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平2-255573
  • 特開昭62-297269
  • 特開平2-048468
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