特許

J-GLOBAL ID：200903000226807824

薄膜光導波路素子及びその製造方法

発明者： 青木 真金
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019638
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211238
出願日： 1995年02月08日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 導波路境界部を有する光導波路内での光利用効率が高く、伝搬特性に優れ、素子の作成が容易な薄膜光導波路素子及びその製造方法を提供する。【構成】 導波路光学系3の光導波路境界部Xa,Xbに接する導波方向変化の前後に位置する光導波路2を、単一モードとなるような膜厚tA ,tB に設定された単一モード導波路とすることによって、その導波路光学系3の光導波路境界部Xa,Xbにおいて導波された導波光4のモード以外のモード光をモード変換により発生させないようにした。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された光導波路と、その光導波路内に形成された導波路光学系とを備え、前記光導波路内に導波された導波光を前記導波路光学系に導くことによってその導波光の導波方向を変化させる薄膜光導波路素子において、前記導波路光学系の光導波路境界部に接する導波方向変化の前後に位置する光導波路を、導波された導波光以外のモード光を発生させない単一モードとなるような膜厚に設定された単一モード導波路としたことを特徴とする薄膜光導波路素子。