特許
J-GLOBAL ID：200903000228793731
高出力レーザ用光学部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-213204
公開番号（公開出願番号）：特開平5-032432
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 本発明は経時的な耐レーザ性と高屈折率を保証し、これにより長期間に亙って使用可能な高出力レーザ用光学部材、特にステッパ用の光学部材を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、H2ガスを1.5×1017molecules/cm3以上含有させるとともに、Clの含有量を200ppm以下に設定し、これによりH2ガス分子の消費量を著しく低下させ、長期に亙って高出力レーザを照射しても欠陥発生限界である1×1016molecules/cm3に達することのない安定した耐レーザガラスを得ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
合成シリカガラスからなる高出力レーザ用光学部材において、H2ガス分子の含有量を1.5×1017molecules/cm3以上、Clの含有量を200ppm以下、KrFエキシマレーザ照射時のH2ガス分子の消費量を1×108molecules/cm3・dose以下に夫々設定した事を特徴とする高出力レーザ用光学部材
IPC (4件)：
C03C 4/00
, C03B 20/00
, C03C 3/06
, G02B 1/02
