特許
J-GLOBAL ID：200903000230758072
ワイヤボンデイング装置における高周波検出装置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194983
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021501
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【目的】 異常放電時に高周波が発生したことを検出し、該検出出力により高周波が発生し異常放電が行われていることを告知するようにして装置の信頼性を向上させて最適なボール径を形成する。【構成】 高周波検出回路13により放電電極10から発生する高周波を検出できるようにして異常放電が発生したことを検知できるようにした。その結果、キャピラリ9内にボールが埋没する等の事故を未然に防ぐことができると共に良好なボール径を有するボールを形成することができる。また、異常放電であることを速やかに告知できるので装置の信頼性を向上させることができる。
請求項１：
キャピラリ先端から突出したワイヤの先端と放電電極との間に高電圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの先端部を溶融してボールを形成するワイヤボンディング装置において、電源回路と、該電源回路と接続された電流制御回路と、該電流制御回路を介して接続された放電電極と、前記電源回路と接続されたクランパと、前記電流制御回路及び放電電極間と前記クランパとの間で接続された高周波検出回路とを備え、前記高周波検出回路は、異常放電時に放電電極から発生する高周波を検出できるようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置における高周波検出装置。
引用特許：
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