特許

J-GLOBAL ID：200903000231840082

紫外域用反射ミラー及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 國分 崇生
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-051210
公開番号（公開出願番号）：特開2004-260080
出願日： 2003年02月27日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】被露光基板の外観の悪化を防止することができて解像度を向上し易い紫外域用反射ミラーを提供する。【解決手段】基材11アルミニウムからなる金属反射膜13が積層されるとともに、金属反射膜13より入射面側に誘電体膜15が積層されてなる紫外域用反射ミラー10において、誘電体膜15の成膜により生じた引張又は圧縮の残留応力に対し、逆方向の応力を生じさせる応力緩和層16が、金属反射膜13より入射面側に積層され、応力緩和層16の光学膜厚が実質的に不在層となる厚さにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材に金属反射膜が積層されるとともに、該金属反射膜の入射面側に誘電体膜が積層されてなる紫外域用反射ミラーにおいて、 前記誘電体膜の成膜により生じた引張又は圧縮の残留応力に対し、逆方向の応力を生じさせる応力緩和層が、前記金属反射膜より前記入射面側に積層され、 該応力緩和層の光学膜厚が実質的に不在層となる厚さであることを特徴とする紫外域用反射ミラー。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 502 ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521

Fターム (8件)：

2H097CA13 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25