パターン形成方法およびカラーフィルタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米田潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033023
公開番号（公開出願番号）：特開2001-222116
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】現像、洗浄、乾燥からなる湿式工程が不要であるパターン形成方法と、液晶層の厚み設定用としての柱状凸部を備え、表示品質に優れたカラー液晶表示装置の製造を可能とするカラーフィルタとを提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物をパターン被形成物上に塗布して感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層を所定のマスクを介して露光し、その後、加熱処理を施して感光性樹脂層の未露光部位を大きく熱流動させ露光部位を盛り上げて凹凸レリーフを形成することにより、パターン形成方法とし、また、カラーフィルタを、基板上に所定のパターンで形成された複数色からなる着色層と、少なくとも着色層を覆うように形成された透明保護層と、基板上の複数の所定部位に形成され透明保護層よりも突出した透明な柱状凸部とを備えたものとし、柱状凸部と透明保護層を上記のパターン形成方法により一括形成したものとする。

請求項（抜粋）：

パターン被形成物上に感光性樹脂組成物を塗布して感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を所定のマスクを介して露光し、その後、加熱処理を施して前記感光性樹脂層の未露光部位を露光部位よりも大きく熱流動させて露光部位を盛り上げることにより凹凸レリーフを形成することを特徴とするパターン形成方法。

IPC (4件)：

G03F 7/38 511 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/30 320

FI (4件)：

G03F 7/38 511 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/30 320

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