特許
J-GLOBAL ID：200903000236957840
自動ペリクル除去装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-239366
公開番号（公開出願番号）：特開平8-076361
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 レチクルに損傷を与えたり異物を付着させたりすることなくペリクルを除去することのできる、自動ペリクル除去装置を提供すること。【構成】 本発明においては、ペリクルフレームを介してペリクル膜が張設されたレチクルからペリクル膜を除去するためのペリクル膜除去手段と、前記レチクルからペリクルフレームを除去するためのペリクルフレーム除去手段と、前記ペリクル膜を除去した後に前記ペリクルフレームを除去するように、前記ペリクル膜除去手段および前記ペリクルフレーム除去手段を制御するための制御手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームを介してペリクル膜が張設されたレチクルからペリクル膜を除去するためのペリクル膜除去手段と、前記レチクルからペリクルフレームを除去するためのペリクルフレーム除去手段と、前記ペリクル膜を除去した後に前記ペリクルフレームを除去するように、前記ペリクル膜除去手段および前記ペリクルフレーム除去手段を制御するための制御手段とを備えていることを特徴とする自動ペリクル除去装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 503 D
