容量式加速度センサおよび作動法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237104
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110355
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】通常の測定動作中も自己テスト可能な加速度センサを提供する。【解決手段】可動の電極3を有するサイズモ質量体2を備えた加速度センサが提案される。この可動の電極は、2つの位置固定の電極4の間の差動コンデンサとして構成されている。さらに付加的な電極10が設けられている。これは可動の電極3に対向して、またはサイズモ質量体2に懸架されている曲げ素子6に対向して、設けられている。付加的な電極10へ電圧が加えられる。この電圧は評価回路9により加速度として評価される。

請求項（抜粋）：

加速度により変位される少なくとも1つの可動のサイズモ質量体(2)を有し、該サイズモ質量体(2)は少なくとも1つの可動の電極を有し、該可動の電極は少なくとも1つの位置固定の電極(4a,4b)に対向して配置されていてこの位置固定電極と共に測定コンデンサを構成している形式の容量式加速度センサにおいて、少なくとも1つの別の位置固定の電極(10)が設けられており、該別の位置固定電極(10)へ電圧が印加されるようにし、ここでサイズモ質量体(2)へ力の作用が及ぼされるように、上記電圧は印加されることを特徴とする、容量式加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 , G01P 21/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-354832 出願人：オムロン株式会社
特表平4-504003
特表平4-504003

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