特許
J-GLOBAL ID：200903000241473410

カラーフィルターパネルの製造法、および液晶表示装置の製造法

発明者：
白 井 修

白 井 修 について

, 
降 矢 裕 明

降 矢 裕 明 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について

, 
東芝電子エンジニアリング株式会社

東芝電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-149637
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337724
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 カラーフィルターパネル、または液晶表示装置の製造時間を短縮することができるカラーフィルターパネルの製造法の提供。【解決手段】 透明基板上に複数の着色レジスト層を配置することにより形成されるカラーフィルターパネルの製造法であって、それぞれの着色レジスト層についてレジストパターンを形成させた後のポストベーク工程を、後に行う現像で故障が起きない程度の条件で行い、すべての着色レジスト層のパターンが形成された後に一括ですべてのレジスト層を充分に硬化させることを特徴とするカラーフィルターパネルの製造法、ならびにそれを利用した液晶表示装置の製造法。
請求項（抜粋）：
透明基板上に複数の着色レジスト層を配置することにより形成されるカラーフィルターパネルの製造法であって、それぞれの着色レジスト層について、基板上に感光性レジスト組成物を塗布するレジスト層塗布工程、レジスト層中に含まれる溶剤成分を揮発させるプリベーク工程、パターンを焼き付ける露光工程、焼き付けたパターンを現像する現像工程、後に行われる現像工程において、塗布済みレジスト層が欠陥を起こさないレベルまで硬化させる仮ポストベーク工程を繰り返し、最後の仮ポストベーク工程の後、または最後の仮ポストベーク工程の代わりに、すべての塗布済みレジスト層を充分に硬化させる一括ポストベーク工程を行うことを特徴とするカラーフィルターパネルの製造法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505
FI (2件)：
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505
引用特許：
審査官引用 (4件)
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