特許

J-GLOBAL ID：200903000248265774

ドーパント拡散被膜形成用塗布液

発明者： 西村 俊博 ,  萩原 嘉男 ,  渋谷 達彦
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154181
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326432
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【構成】 (A)ドーパント拡散剤と、(B)ポリシラザン又は、加熱処理によりポリシラザンを形成しうるシラザン化合物とを、重量比1:1ないし1:10の割合で含有して成るドーパント拡散被膜形成用塗布液。【効果】 半導体基板内にドーパントを均質に、かつ高濃度に拡散させうる厚膜のドーパント含有ポリシラザン被膜を容易に形成することができる。

請求項（抜粋）：

(A)ドーパント拡散剤と、(B)ポリシラザン又は加熱処理によりポリシラザンを形成しうるシラザン化合物とを、重量比1:1ないし1:10の割合で含有して成るドーパント拡散被膜形成用塗布液。